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DS-2000/14G型光刻機

簡(jiǎn)要描述：DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(cháng)的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明。

產(chǎn)品型號：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2024-06-04
訪(fǎng) 問(wèn) 量：1649

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芯片加工設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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品牌	其他品牌	價(jià)格區間	面議
儀器種類(lèi)	微流控芯片系統	應用領(lǐng)域	醫療衛生,環(huán)保,電子

產(chǎn)品名稱(chēng)：DS-2000/14G型光刻機

主要技術(shù)指標：

單次曝光面積：1.4mm×1mm;

大曝光基片：100mm ×100mm ;

對準精度：±0.8μm（半自動(dòng)對準）;

大膠厚：300μm（SU8膠）;

自動(dòng)逐場(chǎng)對焦；

分辨力：1μm；

X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺 ;

X、Y平移重復定位精度：0.65μm（3σ）;

Z向運動(dòng)精度：1μm。

DS-2000/14G型光刻機技術(shù)特點(diǎn)：

該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(cháng)的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統（可同時(shí)使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡(jiǎn)便。

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