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TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機

簡(jiǎn)要描述:TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機,照明系統:冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節臺; 光學(xué)系統:固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1542

詳細介紹

品牌其他品牌價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)微流控芯片系統應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,電子
產(chǎn)品名稱(chēng):TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機
主要技術(shù)指標:
   曝光場(chǎng)面積:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明不均勻性:±2%
   物鏡倍率:2.5倍(縮小)
   光源:350W球形汞燈(曝光譜線(xiàn): i線(xiàn))
   基片尺寸:4 英寸
   工件臺運動(dòng)范圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工件臺運動(dòng)定位精度:±0.65μm
   調焦臺運動(dòng)靈敏度:1μm
   對準精度:±0.5μm
   調焦臺運動(dòng)行程:5mm
   檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米
   轉動(dòng)臺行程:±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機主要技術(shù)配置:
(1)照明系統:冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調節臺;   光學(xué)系統:固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
(2)工件臺系統:X臺:電機驅動(dòng)器(日本樂(lè )孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵(美國)   Y臺:電機及驅動(dòng)器(日本樂(lè )孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵2(美國)   轉動(dòng)臺:電機及驅動(dòng)器(日本樂(lè )孜),轉動(dòng)軸系 調平臺:電機及驅動(dòng)器(3套)、調平機構   Z臺:電機及驅動(dòng)器(日本樂(lè )孜)、絲杠、上升導向機構; 承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統:焦面光學(xué)檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
(4)對準系統:對準光學(xué)檢測系統(2套)、CCD(2套)、對準軟件
(5)電控系統:汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統、軟件、計算機、顯示器、接口
(6)其他部件:底座 減震器(4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一臺(無(wú)油泵);空壓機一臺(靜音泵);管道

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