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微納結構三維形貌測量?jì)x

簡(jiǎn)要描述:微納結構三維形貌測量?jì)x系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(cháng)作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法,實(shí)現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀(guān)尺寸等各類(lèi)外觀(guān)參數測量結果。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1766

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品牌FLOWX產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,電子

 

系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(cháng)作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法,實(shí)現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀(guān)尺寸等各類(lèi)外觀(guān)參數測量結果。

微納結構三維形貌測量?jì)x本產(chǎn)品具有以下特點(diǎn):
高的測量精度:基于干涉測量原理,測量重復性達到1nm。
大的測量范圍:采用*掃描系統,在保證納米定位精度的同時(shí),單場(chǎng)掃描范圍可達到10mm,結合白光光源重構方法,可滿(mǎn)足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動(dòng)測量:標配自動(dòng)檢焦功能,結合自動(dòng)調焦裝置,無(wú)需復雜調節過(guò)程,一鍵操作即可完成調焦、檢測全過(guò)程。選配自動(dòng)二維平臺,可自動(dòng)完成大面積三維數據拼接操作
高集成度、安裝簡(jiǎn)便:整機集成為統一整體,僅需外接220v電源,通過(guò)USB3.0 數據傳輸,即可完成數據傳輸與測量
具有高的性?xún)r(jià)比:保證系統性能的同時(shí),降低制造成本
靈活性高:可根據用戶(hù)需求,對系統進(jìn)行改進(jìn),滿(mǎn)足工業(yè)不同應用場(chǎng)景需求。

微納結構三維形貌測量?jì)x技術(shù)參數:

型號

3DNM-W50

光源

LED

CCD分辨率

2040×1080

調焦方式

自動(dòng)

縱向掃描范圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調整范圍

縱向分辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分辨率

650nm(20倍物鏡)

臺階測量重復性

1nm

XY樣品臺行程

100mm×100mm(手動(dòng))

Z軸行程

50mm(自動(dòng))

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

數據傳輸接口

USB 3.0

 

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